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J-GLOBAL ID:200903039814528072
環境異常検出装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
植本 雅治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992212259
Publication number (International publication number):1994036159
Application date: Jul. 16, 1992
Publication date: Feb. 10, 1994
Summary:
【要約】【目的】 クリーンルーム等における局所的な少量の燃焼,あるいは少量の空気汚れを検出しようとする場合に、人間が自ら知覚する以前の段階で短時間内に信頼性の高い異常判定を行なうことが可能である。【構成】 クリーンルーム等からの空気を吸引し、これに含まれている微粒子をパルス信号として吸引式微粒子検出装置1により検出する。計数部21では、検出されたパルス信号の所定期間内の個数を所定のサンプリング時間ごとに計数値として計数する。比較部22,演算部23では、この計数値を第1の閾値VXと比較して、計数値が第1の閾値VXに達したときには、状態変数Snに第1の定数xを加算し、計数値が第1の閾値VXに達しないときには、状態変数Snを零を限度に第2の定数yで減算する。異常判定部24は、状態変数Snが第2の閾値AMに達したときに異常と判定する。
Claim (excerpt):
監視空間からの空気を吸引し、吸引した空気中に含まれている微粒子をパルス信号として検出する吸引式微粒子検出手段と、前記監視空間の環境の状態を表わす状態変数が記憶される状態変数記憶手段と、前記吸引式微粒子検出手段から出力されるパルス信号の所定期間内の個数を所定のサンプリング時間ごとに計数値として計数する計数手段と、計数手段からの計数値を第1の閾値と比較して、計数値が第1の閾値に達したときには、前記状態変数に第1の定数を加算し、計数値が第1の閾値に達しないときには、前記状態変数を零を限度に第2の定数で減算する演算手段と、前記状態変数を第2の閾値と比較し、前記状態変数が第2の閾値に達したときに異常と判定する異常判定手段とを備えていることを特徴とする環境異常検出装置。
IPC (2):
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