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J-GLOBAL ID：200903039814529893

表面欠陥検査方法及び装置

Inventor： 園部 治 ,  内田 洋之 ,  横尾 雅一 ,  丸山 智 ,  守屋 進
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 小杉 佳男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992249610
Publication number (International publication number)：1994102195
Application date： Sep. 18, 1992
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】被検査材の表面温度が高温であっても、高い感度でこの表面の検査を行ない欠陥を検出する表面欠陥検査方法及び装置を提供する。【構成】熱延鋼板22からの散乱光がCCDラインセンサカメラ28に入射される前に、CCDラインセンサカメラ28に備えられた光学フィルタ32が、550nmを越える波長の強度を除去する。この結果、波長が550nmを越える電磁波の放射エネルギによるノイズが除去され、高い感度でこの表面の検査を行ない欠陥を検出することができる。

Claim (excerpt)：

被検査材の表面に光を照射し、前記表面で反射された前記光の反射光を検出することにより前記被検査材の表面欠陥を検出する表面欠陥検査方法において、前記反射光を検出する際に、前記表面から放射される電磁波を除去することを特徴とする表面欠陥検査方法。

IPC (2)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30