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J-GLOBAL ID:200903039840948624
非破壊検査装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
越場 隆
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993319120
Publication number (International publication number):1995146277
Application date: Nov. 25, 1993
Publication date: Jun. 06, 1995
Summary:
【要約】【構成】磁気的に安定した検査領域を画成する磁気遮蔽容器4と、磁気遮蔽容器4内に磁界を発生する磁界発生手段2と、磁気遮蔽容器4内の所定の検査領域内の磁界変動をSQUIDを用いて検出する磁気センサとを備え、検査領域内を移動する被検査物1により生じる磁界の変動を検出して、被検査物1に含まれる異物または欠陥を検出する非破壊検査装置であって、共通の磁界に所定の間隔で配置された第1および第2の磁気センサを含む複数の磁気センサを備え、被検査物の特定部分が、第1磁気センサ3aの検査領域を通過した後、所定の時間を経過後に第2磁気センサ3bの検査領域を通過するように構成されている。
Claim (excerpt):
磁気的に安定した検査領域を画成する磁気遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に磁界を発生する磁界発生手段と、該磁気遮蔽容器内の所定の検査領域内の磁界変動をSQUIDを用いて検出する磁気センサとを備え、該検査領域内を移動する被検査物により生じる磁界の変動を検出して該被検査物に含まれる異物または欠陥を検出する非破壊検査装置であって、共通の磁界に所定の間隔で配置された第1および第2の磁気センサを含む複数の磁気センサを備え、該被検査物の特定部分が、該第1磁気センサの検査領域を通過した後、所定の時間を経過後に該第2磁気センサの検査領域を通過するように構成されていることを特徴とする非破壊検査装置。
IPC (3):
G01N 27/83 ZAA
, G01R 33/035
, G01R 33/12
Patent cited by the Patent: