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J-GLOBAL ID：200903039860749989
光ディスクの形状測定方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
武 顕次郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993039954
Publication number (International publication number)：1994251427
Application date： Mar. 01, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】 容易、かつ、迅速に異常ピットをプローブ顕微鏡の探針の走査範囲内に位置せしめることができる光ディスクの形状測定方法を提供すること。【構成】 異常ピットを有する光ディスクを試料テーブル4に載置し、その基準マークを光学顕微鏡9の視野に入れて光ディスクに座標を設定し、この座標とXYステージ2の座標との関係および基準マークと異常ピットとの位置関係に基づいて異常ピットのアドレス部が光学顕微鏡9の視野に入るようにXYステージ2を移動させ、画像処理装置により視野内の1つのアドレス部の情報を読み取り、この情報から異常ピットと視野中心との距離を演算し、この距離および既知の位置関係に基づいてXYステージ2を異常ピットがプローブ顕微鏡の探針10の走査範囲内に入るように移動させる。
Claim (excerpt)：
表面に形成されるピットより成るアドレス部をトラックおよびセクタ毎に有するとともに、所定位置に基準マークが付された光ディスクにおいて、光学顕微鏡、この光学顕微鏡の像を処理する画像処理装置、前記光学顕微鏡に対して既知の位置関係で配置されたプローブ顕微鏡、および測定対象物を載置し所定座標上で変位可能なステージを備え、あるアドレスおよびそのアドレス内での位置が判明している異常ピットを有する光ディスクを前記ステージに載置し、前記基準マークを前記光学顕微鏡の視野に入れることにより前記光ディスクに座標を設定し、この座標と前記ステージの座標との関係および前記基準マークと前記異常ピットとの位置関係に基づいて当該異常ピット又はその近辺のアドレス部が前記光学顕微鏡の視野に入るように前記ステージを移動させ、前記画像処理装置により視野内の1つのアドレス部の情報を読み取り、この情報から前記異常ピットと視野中心との距離を演算し、この距離および前記既知の位置関係に基づいて前記ステージを移動させて前記異常ピットを前記プローブ顕微鏡の走査範囲内に位置せしめることを特徴とする光ディスクの形状測定方法。
IPC (3)：
G11B 7/26
, G01B 7/34
, H01J 37/28
