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J-GLOBAL ID：200903039886242840

2-Dアクチュエータ及びその製造方法

Inventor：
高 泳哲

About 高 泳哲

, 
李 振鎬

About 李 振鎬


Applicant, Patent owner：
三星電子株式会社

About 三星電子株式会社


Agent (1)： 磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003358849
Publication number (International publication number)：2004139085
Application date： Oct. 20, 2003
Publication date： May. 13, 2004
Summary：
【課題】 2次元駆動光スキャナ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 第1方向の回転中心軸を中心に第1方向及び第2方向に垂直の第3方向にシーソー運動するステージと、前記各ステージのシーソー運動を支持する第1支持部と、前記ステージの下部でステージと所定間隔をおいて対面し、前記第1支持部により支持されるベースと、前記ステージの底面とこれに対面するベースの上面に各々対応して形成される多数の第1駆動櫛歯状電極及びこれに対応して形成される第1固定櫛歯状電極を具備するステージ駆動部と、前記第2方向の回転中心軸を中心に前記第1支持部がシーソー運動するように前記第1支持部を支持する第2支持部と、前記第1支持部のシーソー運動を発生させるように前記第1支持部に設けられる第2駆動櫛歯状電極及び第2駆動櫛歯状電極に対応するように位置固定された第2固定櫛歯状電極を具備する第1支持部駆動部と、を具備するアクチュエータ。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
第1方向とこれに直交する第2方向を有して前記第1方向の回転中心軸を中心に第1方向及び第2方向に垂直の第3方向にシーソー運動するステージと、 前記ステージのシーソー運動を支持する第1支持部と、 前記ステージの下部にステージと所定間隔をおいて対面し、前記第1支持部により支持されるベースと、 前記ステージの底面及びこれに対面するベースの上面に各々形成される第1駆動櫛歯状電極及びこれに対応する第1固定櫛歯状電極を具備するステージ駆動部と、 前記第2方向の回転中心軸を中心に前記第1支持部がシーソー運動するように前記第1支持部を支持する第2支持部と、 前記第1支持部のシーソー運動を発生させるように前記第1支持部に設けられる第2駆動櫛歯状電極及び第2駆動櫛歯状電極に対応するように位置固定された第2固定櫛歯状電極を具備する第1支持部駆動部と、を具備することを特徴とするアクチュエータ。
IPC (4)：
G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00 ,  G02B26/10
FI (4)：
G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81C3/00 ,  G02B26/10 C
F-Term (9)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H045BA13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 米国特許第5,025,346号明細書
Cited by examiner (5)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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