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J-GLOBAL ID:200903039901234956
膜被着物およびその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山本 惠二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992215610
Publication number (International publication number):1994033222
Application date: Jul. 20, 1992
Publication date: Feb. 08, 1994
Summary:
【要約】【目的】 基体に対する窒化ホウ素を含む膜の密着性に優れており、しかもこの窒化ホウ素を含む膜の密着性の長期安定性を確保することができるようにした膜被着物およびその製造方法を提供する。【構成】 この膜被着物は、基体2の表面に、元素周期表の3B族元素と4A族元素および4B族元素の少なくとも一方とを含んで成る中間層6を形成し、かつこの中間層6と基体2との界面に両者6、2の構成元素より成る混合層4を形成し、更に中間層6の上に窒化ホウ素を含む膜8を形成して成る。このような膜被着物は、真空容器内で基体に対して、3B族元素を含む物質の蒸着と、4A族元素および4B族元素の少なくとも一方を含む物質の蒸着と、イオンの照射とを行うことによって中間層を形成し、更にこの中間層の上に窒化ホウ素を含む膜を形成することによって製造することができる。
Claim (excerpt):
基体の表面に、元素周期表の3B族元素と4A族元素および4B族元素の少なくとも一方とを含んで成る中間層を形成し、かつ当該中間層と基体との界面に両者の構成元素より成る混合層を形成し、更に前記中間層の上に窒化ホウ素を含む膜を形成して成ることを特徴とする膜被着物。
IPC (2):
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