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J-GLOBAL ID：200903039914749742

レーザトリミング方法及びレーザトリミング装置

Inventor：
堀越 聡

About 堀越 聡


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000141311
Publication number (International publication number)：2001326112
Application date： May. 15, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：
【要約】【課題】 抵抗体に損傷を与えることなく、トリミング精度を向上し、更に高速で効率よく加工が行えるレーザトリミング方法及び装置を提供する。【解決手段】 レーザトリミング方法において、レーザパルス照射期間の間の休止時間の初期設定値をT、抵抗体の電気抵抗値における最終目標値とレーザトリミング中の測定値との差をΔRfm、1回のレーザパルス照射により変化する前記電気抵抗値の変化量をΔRとし、前記ΔRfmが前記ΔR以下となったとき、その直前のレーザパルス照射から次のレーザパルス照射までの休止時間Tendを、Tend=ΔRfm/ΔR×Tとする。
Claim (excerpt)：
抵抗体の電気抵抗値を測定しながらレーザパルスを間欠的に照射することにより前記抵抗体のトリミングを行うレーザトリミング方法において、前記抵抗体の電気抵抗値における最終目標値とレーザトリミング中の測定値との差ΔRfmと、1回のレーザパルス照射により変化する前記電気抵抗値の測定値の変化量ΔRとに関連づけてレーザパルスの照射期間の間の休止時間を決定することを特徴とするレーザトリミング方法。
IPC (4)：
H01C 17/22 ,  B23K 26/00 ,  H01L 27/01 321 ,  B23K101:36
FI (5)：
H01C 17/22 D ,  B23K 26/00 C ,  B23K 26/00 N ,  H01L 27/01 321 ,  B23K101:36
F-Term (10)：
4E068AC01 ,  4E068CA03 ,  4E068CB01 ,  5E032BA04 ,  5E032BB01 ,  5E032CA01 ,  5E032CB03 ,  5E032TA03 ,  5E032TB02 ,  5E032TC01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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