Pat

J-GLOBAL ID：200903039951358648

赤外線センサ

Inventor： 河合 高志 ,  蘭 宗樹 ,  宮崎 俊一
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992002436
Publication number (International publication number)：1993187917
Application date： Jan. 09, 1992
Publication date： Jul. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 応答速度および感度が高く,故障のない赤外線検出器を提供する。【構成】 少なくとも2本の梁により支持されたダイアフラム3と,このダイアフラム3上に形成された絶縁膜5と,前記ダイアフラム3と絶縁膜5間に形成された断熱層6と,前記絶縁膜5上に下部電極6a,焦電膜7,上部電極8および光吸収膜9が順次積層され,前記絶縁膜5を含む前記積層された層が複数の長方形の孔10により,アレイ状に分離された焦電センサ4aを有する第1基板1と,少なくとも2本の梁に支持され前記第1基板1の複数の焦電センサ4aの形状とほぼ同一形状に形成された複数のチョッパーと,これらのチョッパーを面方向に駆動する駆動手段23からなる第2基板20とからなり,前記第1基板1上に第2基板20を配設し,前記焦電センサ上で前記チョッパーを面方向に往復駆動して前記焦電センサに入射する赤外線をチョッピングするように構成する。

Claim (excerpt)：

少なくとも2本の梁により支持されたダイアフラムと,このダイアフラム上に形成された絶縁膜と,前記ダイアフラムと絶縁膜間に形成された断熱層と,前記絶縁膜上に下部電極,焦電膜,上部電極および光吸収膜が順次積層され,前記絶縁膜を含む前記積層された層が複数の長方形の孔により,アレイ状に分離された焦電センサを有する第1基板と,少なくとも2本の梁に支持され前記第1基板の複数の焦電センサの形状とほぼ同一形状に形成された複数のチョッパーと,これらのチョッパーを面方向に駆動する駆動手段からなる第2基板とからなり,前記第1基板上に第2基板を配設し,前記焦電センサ上で前記チョッパーを面方向に往復駆動して前記焦電センサに入射する赤外線をチョッピングするように構成したことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (3)：

G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01J 5/02