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J-GLOBAL ID：200903039982903792

単分散性共重合体及びその製造方法

Inventor： 渡辺 修 ,  山田 素行
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 滝田 清暉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992218472
Publication number (International publication number)：1994041245
Application date： Jul. 24, 1992
Publication date： Feb. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】レジスト材料用ポリマーとしての要求性能を充たす、単分散性の新規な共重合体及びその工業的製造方法を提供すること。【構成】下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体。【化1】【化2】

Claim (excerpt)：

下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体。【化1】【化2】

IPC (3)：

C08F212/14 MJY ,  C08F 8/00 MFZ ,  C08F297/02 MRD