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J-GLOBAL ID：200903039999163385

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 梶田 徹 ,  大田 利幸 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992146871
Publication number (International publication number)：1993313367
Application date： May. 13, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性ノボラック樹脂としてメタクレゾールとパラクレゾール、オルトクレゾール、2,3-キシレノール、2,5-キシレノール、3,4-キシレノール、3,5-キシレノールおよび2,3,5-トリメチルフェノールよりなる群から選ばれる少なくとも1種のフェノール類を共重合した樹脂(ただしクレゾール異性体のみを重合した樹脂は除く)、1,2-キノンジアジド化合物および下記構造式(1)に示される構造を有する樹脂【化1】を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【効果】現像性に優れ、高感度で、パターン形状、残膜率、耐熱性および解像度に優れ、特に十分なフォーカス許容性を備えたポジ型レジストとして好適なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供することにある。

Claim (excerpt)：

(1)パラクレゾール、オルトクレゾール、2,3-キシレノール、2,5-キシレノール、3,4-キシレノール、3,5-キシレノールおよび2,3,5-トリメチルフェノールよりなる群から選ばれる少なくとも1種のフェノール類とメタクレゾールをアルデヒド類を用いて重縮合して得られたアルカリ可溶性ノボラック樹脂(ただしクレゾール異性体とアルデヒド類を重縮合して得られた樹脂は除く)、(2)1,2-キノンジアジド化合物 および(3)下記構造式(1)に示される構造単位【化1】(式中、R1およびR2は、同一もしくは異なり、水素原子、アルキル基、アリール基、ハロゲン原子、ニトロ基、アルコキシ基または水酸基であり、R3、R4、R5、R6およびR7は、同一もしくは異なり、水素原子、アルキル基、アルケニル基またはアリール基である)および/または下記構造式(2)に示される構造単位【化2】(式中、R1およびR2は、構造式(1)の定義と同じであり、R8、R9およびR10は、同一もしくは異なり、水素原子、アルキル基またはアリール基であり、そしてlは10以下の自然数を示す)を含有し、かつポリスチレン換算重量平均分子量が800以上である重合体を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027