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J-GLOBAL ID:200903040006808937
固体撮像素子
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991290157
Publication number (International publication number):1993129649
Application date: Nov. 06, 1991
Publication date: May. 25, 1993
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 アバランシェ増倍型固体撮像素子のブレークダウンを防止する。【構成】 画素電極2のエッジ部は絶縁性のガードリング7が設けられるので、その上のキャリア阻止層3がこの部分で薄層化せず、また薄層化しても下側にガードリング7が介在しているので、絶縁耐圧の大幅な向上が可能になる。
Claim (excerpt):
上面に複数の画素電極が配設された信号読み出し用の基板上に、第1導電型キャリア阻止層、受光層、第2導電型キャリア阻止層および透光性の導電膜が順次に積層された固体撮像素子において、前記基板上には、前記複数の画素電極間に埋め込まれて当該画素電極のエッジを覆う絶縁性のガードリングが形成され、前記第1導電型キャリア阻止層は前記複数の画素電極および前記ガードリングを覆うように形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3):
H01L 31/107
, H01L 27/146
, H04N 5/335
FI (2):
H01L 31/10 B
, H01L 27/14 A
Patent cited by the Patent:
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