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J-GLOBAL ID：200903040009315176

微小変位素子及びその製造方法、及びそれを用いたトンネル電流検出装置、情報処理装置

Inventor： 岡村 好真 ,  高松 修 ,  柳沢 芳浩 ,  島田 康弘 ,  山本 敬介
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993107186
Publication number (International publication number)：1994302874
Application date： Apr. 12, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 トンネル電流検出装置や走査型トンネル顕微鏡に用いられ、大気中における変位特性の経時変化を防止した微小変位素子を提供する。【構成】 圧電体膜4,6と電極膜3,5,7とを積層したカンチレバーの表面に、保護膜としてフロロカーボン膜12を設けた構成を特徴とする微小変位素子。

Claim (excerpt)：

圧電体膜と該圧電体膜を逆圧電効果により変位させるための電極とを積層してなるカンチレバー(片持ち梁)の上面自由端部に情報入出力用マイクロティップを具備する微小変位素子において、上記カンチレバーを構成する圧電体膜の表面にフロロカーボン膜を設けたことを特徴とする微小変位素子。

IPC (4)：

H01L 41/09 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28 ,  G01B 21/30