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J-GLOBAL ID：200903040036019546
ネガ型感光性組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
横倉 康男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991184858
Publication number (International publication number)：1993027421
Application date： Jul. 24, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：
【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、該樹脂の架橋剤、光酸発生剤としての有機ハロゲン化合物及び増感剤として下記式で表わされ化合物を含有するネガ型感光性組成物N(A1)(A2)(A3)(A1は置換基を有していてもよいアリール基を、A2及びA3は夫々独立に水素、置換基を有していてもよいアリール基、アラルキル基またはスチリル基を表わす。)【効果】特にi線での露出で高解像度のパターンプロフィールを得ることができ、位相シフト法に適応できるレジストとして有用である。
Claim (excerpt)：
(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤、(c)光酸発生剤および、(d)増感剤を含有するネガ型感光性組成物において、該光酸発生剤が有機ハロゲン化合物でありかつ該増感剤が下記式[I]の化合物であることを特徴とするネガ型感光性組成物。N(A1)(A2)(A3)・・・[I](式中、A1は置換基を有していてもよいアリール基を表わし、A2及びA3は夫々独立に水素原子、置換基を有していてもよいアリール基、アラルキル基又は、スチリル基を表わす。)
IPC (4)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
Cited by examiner (7)
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