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J-GLOBAL ID:200903040041384198

テープ研磨装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 明田 莞
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995004341
Publication number (International publication number):1996192360
Application date: Jan. 13, 1995
Publication date: Jul. 30, 1996
Summary:
【要約】【構成】 テープ研磨装置であって、表面に砥粒を均一に分散して固着した研磨テープ7を供給する供給ロール1と、被研磨体8に対して研磨テープ7を所定圧で押し付けるためのコンタクトローラ2と、研磨後の研磨テープ7を巻き取る巻取りロール4とを備えるとともに、前記コンタクトローラ2と巻取りロール4との間に、研磨テープ7の目詰まりを除去するための超音波洗浄機3を配設してなる。【効果】 研磨テープを、1回の使用で廃棄することなく効率的に再利用することができ、使用済みの廃棄テープの量を大幅に低減でき産業廃棄物の量を大幅に減らすことができる。また新規に調達しなければならない研磨テープの保有量も大幅に減らすことができ、保管場所を小さくできる。
Claim (excerpt):
表面に砥粒を均一に分散して固着した研磨テープを供給する供給ロールと、被研磨体に対して研磨テープを所定圧で押し付けるためのコンタクトローラと、研磨後の研磨テープを巻き取る巻取りロールとを備えるとともに、前記コンタクトローラと巻取りロールとの間に、研磨テープの目詰まりを除去するための目詰まり除去手段を配設してなることを特徴とするテープ研磨装置。
IPC (3):
B24B 55/08 ,  B24B 21/00 ,  B24B 21/18

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