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J-GLOBAL ID：200903040074206147

電子線発生装置

Inventor： 大野 幸彦 ,  浦野 晋 ,  青木 辰史
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001123177
Publication number (International publication number)：2002318300
Application date： Apr. 20, 2001
Publication date： Oct. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、フィラメント通電用カソード電源を用いなくてもビーム電流を得ることができ、また、ビーム電流の空間的均一性を向上させた電子線発生装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明による電子線発生装置は、大面積の電子線照射を行うための長尺状のカソードと、前記カソードと対向するように設けられたアノードと、前記カソードから前記アノードに向かう方向に熱電子を加速させるための加速用電源とを備える電子線発生装置において、熱電子を発生させるための電界放出材料を前記長尺状カソードの電子放出面に一様に配設した構成である。

Claim (excerpt)：

大面積の電子線照射を行うための長尺状のカソードと、前記カソードと対向するように設けられたアノードと、前記カソードから前記アノードに向かう方向に熱電子を加速させるための加速用電源とを備える電子線発生装置において、熱電子を発生させるための電界放出材料を前記長尺状カソードの電子放出面に一様に配設したことを特徴とする電子線発生装置。

IPC (3)：

G21K 5/04 ,  B01J 19/08 ,  H01J 37/06

FI (3)：

G21K 5/04 F ,  B01J 19/08 C ,  H01J 37/06 Z

F-Term (11)：

4G075AA30 ,  4G075AA37 ,  4G075AA42 ,  4G075CA39 ,  4G075DA02 ,  4G075EC21 ,  4G075FA02 ,  4G075FB03 ,  4G075FC11 ,  5C030BB03 ,  5C030BB17