Pat
J-GLOBAL ID：200903040076017988

スピンコーター

Inventor：
小嶋洋一

About 小嶋洋一


Applicant, Patent owner：
株式会社エイブル

About 株式会社エイブル


Agent (1)： 青木 健二 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001038315
Publication number (International publication number)：2002239443
Application date： Feb. 15, 2001
Publication date： Aug. 27, 2002
Summary：
【要約】【課題】空気やミストの排出をより一層安定にコントロールして効率良く行うことができるようにする。【解決手段】基板2への薄膜形成時にスピンテーブル3が回転すると、羽根11がスピンテーブル3の回転数より減速されてスピンテーブル3の回転と同期回転し、この羽根14の回転によって下方に向く空気流が生じる。この空気流により、スピンカップ6内に流入した空気や余剰コーティング液のミストが強制的にスピンテーブル3上の基板2を回避するようにして羽根14の下方へ流動する。これにより、基板2上に薄膜を形成しつつあるコーティング液Rがこの空気によって影響されるのを抑制でき、形成される薄膜の膜厚をより一層均一にできる。
Claim (excerpt)：
容器内に収容されてコーティング液が塗布される基板を上面に支持する支持テーブルと、この支持テーブルを回転する駆動手段と、前記支持テーブルより下方に設けられて容器内の空気およびミストの少なくとも1つを前記容器の外部に排出させる排出通路とを少なくとも備えているスピンコーターにおいて、前記容器内に設けられ、前記支持テーブルと同期して回転することで前記支持テーブルより下方に向く空気流を発生させる羽根を備えていることを特徴とするスピンコーター。
IPC (2)：
B05C 11/08 ,  H01L 21/027
FI (2)：
B05C 11/08 ,  H01L 21/30 564 C
F-Term (20)：
4F042AA07 ,  4F042AA08 ,  4F042BA05 ,  4F042BA13 ,  4F042BA25 ,  4F042BA27 ,  4F042CC03 ,  4F042CC04 ,  4F042DE01 ,  4F042DE09 ,  4F042DF09 ,  4F042EB05 ,  4F042EB09 ,  4F042EB13 ,  4F042EB17 ,  4F042EB24 ,  4F042EB29 ,  5F046JA08 ,  5F046JA10 ,  5F046JA11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 特開昭61-291067
  • 塗布装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-034465   Applicant：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
  • 特開平4-369210
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