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J-GLOBAL ID：200903040081870095

ウエハはがし方法

Inventor： 遠藤 雄太郎 ,  川崎 和重
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993177778
Publication number (International publication number)：1994275717
Application date： Jul. 19, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ウエハはがし方法において、治具にワックスではりつけられたウエハを、治具からはがす際のウエハ割れをなくす、さらにはスループットを向上させる。【構成】 ウエハ1とガラス板3との間にウエハ1補強のためにアクリル板5を入れ、アクリル板5に力をかけてガラス板3より剥した後、アセトン溶剤6中に浸潤させてワックス2,アクリル板5を溶解し、ウエハ1を取り出す。【効果】 ウエハ自身に機械的な力が加えられないはがし方法なので、ウエハは割れず、歩留向上効果がある。

Claim (excerpt)：

接着剤を用いて治具にはりつけられたウエハを治具から剥離するウエハはがし方法において、上記治具にウエハ補強板を介して固着したウエハを、該ウエハ補強板に応力を印加して該補強板とともに上記治具から分離し、さらに該分離されたウエハ補強板を溶剤中に浸潤して、上記ウエハ補強板を選択的に溶解してウエハのみを取り出すことを特徴とするウエハはがし方法。

IPC (4)：

H01L 21/78 ,  B01J 19/10 ,  C09J 5/00 JHB ,  H01L 21/02