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J-GLOBAL ID：200903040093460127

ガス・レーザ管装置

Inventor： 八森 芳明
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  東芝電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991172268
Publication number (International publication number)：1993021884
Application date： Jul. 12, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】この発明は、以上の出力レーザビームの放射方向の変動を高精度に自動補正できるガス・レーザ管装置を提供することを目的とする。【構成】この発明のガス・レーザ管装置は、出力ミラー22の先に所定間隔をおいて複数のレーザビーム位置検出部35,36 を設け、これらレーザビーム位置検出部によって得られたレーザビーム位置に対応する電気信号を演算処理してミラー傾き調整機構25,26,27,28 あるいはこれとレーザ管11の光軸を移動制御するように構成したものであり、上記の目的を達成することができる。

Claim (excerpt)：

ガス・レーザ管の放電路を挟んで一方に配置された高反射ミラー及び他方に配置された出力側ミラー、これらミラーのうち少なくとも一方のミラーの傾きを調整するミラー傾き調整機構、前記レーザ管に付勢電力を供給する電源装置を備え、上記ガス・レーザ管のレーザ光出力を検出してミラー傾き調整機構を制御する構成のガス・レーザ管装置において、上記出力側ミラーの先に所定間隔をおいて複数のレーザビーム位置検出部を設け、これらレーザビーム位置検出部によって得られたレーザビーム位置に対応する電気信号を演算処理して上記ミラー傾き調整機構を駆動し、少なくとも一方のミラーの傾きを調整するように構成されていることを特徴とするガス・レーザ管装置。

IPC (2)：

H01S 3/139 ,  H01S 3/086