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J-GLOBAL ID：200903040098095680

蛍光測定装置

Inventor： 中山 佳彦 ,  大楽 英昭 ,  田中 隆一 ,  高須 久幸
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000360697
Publication number (International publication number)：2002162350
Application date： Nov. 22, 2000
Publication date： Jun. 07, 2002
Summary：

【要約】【課題】カソードルミネッセンスの集光方法に関し、電子線を照射した試料面側から出射されるカソードルミネッセンスと、電子線を照射した試料面側とは逆の試料面側から出射するカソードルミネッセンスを同時に同等の感度で集光する。【解決手段】試料の上部と下部にカソードルミネッセンスを集光するためのミラーを設置する。2つのミラーの反射面の形状を同一とし、集光率が同等となるように、かつ、カソードルミネッセンスを分離できるように反射面を配置する。

Claim (excerpt)：

電子線を発生させる電子銃と、電子線を収束させ試料上に照射させる手段と、電子線を照射した試料面側から出射する蛍光を集光するミラーと、同じく電子線を照射した試料面側から出射する蛍光を検出する検出器と、電子線を照射した試料面とは逆の試料面側から出射する蛍光を集光するミラーと、同じく電子線を照射した試料面とは逆の試料面側から出射する蛍光を検出する検出器を備え、電子線を照射した試料面側から出射する蛍光と、電子線を照射した試料面とは逆の試料面側から出射する蛍光を同時に集光可能であることを特徴とする蛍光測定装置。

IPC (3)：

G01N 21/62 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/252

FI (3)：

G01N 21/62 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/252 Z

F-Term (25)：

2G001AA03 ,  2G001BA28 ,  2G001CA07 ,  2G001CA10 ,  2G001DA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001JA06 ,  2G001JA11 ,  2G001JA16 ,  2G001JA20 ,  2G001LA11 ,  2G043EA01 ,  2G043EA11 ,  2G043FA01 ,  2G043GA03 ,  2G043GB01 ,  2G043HA03 ,  2G043HA05 ,  2G043JA01 ,  2G043LA01 ,  2G043MA04 ,  5C033RR03 ,  5C033RR10