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J-GLOBAL ID：200903040114377349

金属格子の製作方法

Inventor： 小枝 勝 ,  田中 裕次 ,  東南 義貴
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 縣 浩介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992350809
Publication number (International publication number)：1994174907
Application date： Dec. 04, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 基板上に微細ピッチで金属格子を形成する方法。【構成】 基板上に金属層を形成し、その上にレジスト層を設け、このレジスト層に格子パターンを露光して現像処理を行って、レジストによる格子パターンを形成し、イオンエッチング法により、レジストの格子パターンを上記金属層に転写する。このときエッチングガスとしてCCl2 F2 を用い、これにArを混合する。これによって高い線密度を持った溝深の大きい金属格子を得ることができる。

Claim (excerpt)：

格子を刻設する層を金属とし、金属層の上にフォトレジストのマスクを形成し、エッチングガスとしてCCl2 F2 用いイオンビームエッチングを行うことを特徴とする金属格子の製作方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-089332
  
• 特開昭63-232335