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J-GLOBAL ID：200903040144729240

ダイシング装置

Inventor： 松端 利成
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 筒井 秀隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994100818
Publication number (International publication number)：1995283174
Application date： Apr. 13, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】画像認識装置を必要とせずに、ウエーハを高精度にダイシングできるダイシング装置を提供すること。【構成】上面に複数のウエーハを所定間隔をあけて貼り付けたシートを、シート保持治具の粘着層の上に粘着保持する。シート保持治具は硬質板にて平板状に形成され、ウエーハに対応する複数の貫通穴を有する。シート保持治具を支持するダイシングテーブルの上面には、貫通穴と嵌合しかつシート保持治具の厚みとほぼ同一高さの複数の凸部を有する。凸部の上面には真空吸引装置と接続されたシート吸着穴が形成されている。

Claim (excerpt)：

ウエーハを切断してチップに分離するためのダイシング装置において、上面に複数のウエーハを所定間隔をあけて貼り付けたウエーハ固定用シートと、硬質板にて平板状に形成されたベース板を備え、このベース板の上面に上記シートの下面を粘着保持するとともに、上記シートに貼り付けられたウエーハと対応するベース板の部位に、ウエーハとほぼ同等の大きさの複数の貫通穴を有するシート保持治具と、上面に上記貫通穴と嵌合しかつシート保持治具の厚みとほぼ同一高さの複数の凸部を有し、この凸部の上面に真空吸引装置と接続されたシート吸着穴を設けたダイシングテーブルと、を備えたことを特徴とするダイシング装置。

IPC (5)：

H01L 21/301 ,  B23Q 3/08 ,  B24B 41/06 ,  B65B 31/04 ,  H01L 21/68