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J-GLOBAL ID：200903040151106193
微小異物の検査方法およびその装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996071982
Publication number (International publication number)：1997257717
Application date： Mar. 27, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：
【要約】【課題】 高い検出精度で異物の材質を簡単に識別することができる信頼性の高い微小異物の検査方法および装置を提供することである。【解決手段】 透明な物体中の微小異物または物体表面に付着した微小異物を検査する微小異物の検査方法および装置である。カラーカメラ26〜28により微小異物を撮像し、画像情報処理部15により、得られたカラー画像を画像処理するとともに、異物の赤(R)成分強度、緑(G)成分強度、青(B)成分強度のデータを求め、これらのデータを対象となる異物の分光反射率特性を強調するように決定した各強度の係数a1,a2,a3を用いて組み合わせ、この組合値の値を予め実験により定めた基準値と比較し、微小異物の材質を検出する。
Claim (excerpt)：
透明な物体中の微小異物または物体表面に付着した微小異物を検査する微小異物の検査方法において、カラーカメラにより微小異物を撮像し、得られたカラー画像を処理して微小異物像の複数の波長域の各々における反射光成分の強度データをそれぞれ求め、これら強度データを予め定められた判定式に基づいて演算し、その演算結果に基づいて微小異物の材質を検出することを特徴とする微小異物の検査方法。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 J
, G01B 11/24 Z
