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J-GLOBAL ID：200903040152663088

表面形状測定装置

Inventor： 岩田 国良 ,  金田 滋保 ,  内藤 敦之
Applicant, Patent owner： 株式会社東海理化電機製作所
Agent (1)： 佐藤 強
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995053954
Publication number (International publication number)：1996050010
Application date： Mar. 14, 1995
Publication date： Feb. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 検出ヘッドにより検出対象物の表面形状を測定する場合に、検出ヘッドの数にかかわらずコストを低減すると共に自動測定を可能とする。【構成】 CPU25は、第1,第2の検出ヘッド17,18から検出対象物の表面形状を示す画像信号を選択的に入力することができる。ここで、第1のEPROM30には第1の検出ヘッド17に対応した変換テーブルが記憶され、第2のEPROM31には第2の検出ヘッド18に対応した変換テーブルが記憶されている。そして、CPU25は、第1の検出ヘッド17により検出対象物の表面形状を検出するときは、アナログスイッチ32を切替えることにより第1のEPROM30にアクセスする。これにより、CPU25は、第1の検出ヘッド17からの画像信号及び第1のEPROM30に記憶された変換テーブルに基づいて検出対象物の表面形状を測定することができる。

Claim (excerpt)：

検出対象物の表面にスリット光を投光する投光部及び上記検出対象物の表面における反射スリット光を撮像する受光部が一体化された複数の検出ヘッドと、これらの検出ヘッドと接続可能に設けられ当該検出ヘッドの受光部によるスリット光の撮像状態及び与えられた変換テーブルに基づいて前記検出対象物の表面形状を測定する測定手段と、前記複数の検出ヘッドに個別に対応した複数の変換テーブルが記憶された記憶手段と、この記憶手段に記憶された複数の変換テーブルのうち動作状態の前記検出ヘッドに対応した変換テーブルを前記測定手段に与える付与手段とを備えたことを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00

FI (2)：

G06F 15/64 320 C ,  G06F 15/62 415