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J-GLOBAL ID:200903040167182450
デバイス、及びセッティング用調節装置のための装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002099042
Publication number (International publication number):2003031489
Application date: Apr. 01, 2002
Publication date: Jan. 31, 2003
Summary:
【要約】【課題】かなり高精度で、互いに関して各々の部材の調整と、設定のためのかなり高精度な調整とを可能とする上記に記載されたタイプの装置を提供する。【解決手段】ベース部(2)と、このベース部(2)から離れて位置されたヘッド部(3)とを具備し、これら2つの部分は、少なくとも1つの調整装置(1)によって互いに接続され、これらの角度、もしくは間隔が、長さ調整装置によって調整もしくはセットされ得、前記調整装置は側部(10,11)を有する、特にμmの範囲、nmの範囲、並びにそれ以下の長さでの、特に半導体リソグラフィに関する光学部材のデバイスを調整するためと、調整装置を設定するための装置。
Claim (excerpt):
ベース部と、このベース部から離れて位置されたヘッド部とを具備し、これらベース部とヘッド部とは、少なくとも1つの調整装置によって互いに接続され、この調整装置は、複数の側部を有し、これら側部の所定の角度、もしくはこれら側部の間の間隔は、長さ調整装置によって調整もしくはセットされ得る、μmの範囲、nmの範囲、並びにそれ以下の長さでの、デバイス、及びセッティング用調節装置のための装置。
IPC (5):
H01L 21/027
, F16B 1/00
, F16B 5/02
, F16M 7/00
, G05G 23/00
FI (6):
F16B 1/00 Z
, F16B 5/02 P
, F16M 7/00 B
, G05G 23/00
, H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 516 Z
F-Term (11):
3J001FA03
, 3J001GA02
, 3J001GB01
, 3J001HA02
, 3J001JB17
, 3J001KA15
, 3J001KB10
, 5F046CB02
, 5F046CB12
, 5F046CB27
, 5F046DA12
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