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J-GLOBAL ID：200903040183433706
表面処理方法及びその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991208570
Publication number (International publication number)：1993023579
Application date： Jul. 25, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：
【要約】【構成】 ガス導入口を有すると共に、先端開口部をガス放出口とした絶縁体容器と、該絶縁体内部に配置される電極と、該電極に電圧を印加するための電源と、前記絶縁体容器内部に所定のガスを供給するガス供給手段とを具備した表面処理装置を用い、前記絶縁体容器内部にガス導入口から所定のガスを導入フローさせると共に、前記電極に電圧を印加して前記先端開口部にプラズマを発生させ、該プラズマを前記絶縁体容器のガス放出口から外部に射出させ、かつ該プラズマが射出される位置に被処理物を配置して被処理物に表面処理を施す。【効果】 本発明によれば大気圧グロープラズマを極めて簡単な方法で点状或いは線状のプラズマとすることにより、各種材料のコーティング、エッチングなどの表面処理を大気中で効率よく行うことができ、更に局所的な処理を行うこともできる。
Claim (excerpt)：
ガス導入口を有すると共に、先端開口部をガス放出口とした絶縁体容器内部に電極を配置し、前記絶縁体容器内部にガス導入口から所定のガスを導入フローさせると共に、前記電極に電圧を印加して前記先端開口部にプラズマを発生させ、該プラズマを前記絶縁体容器のガス放出口から外部に射出させ、かつ該プラズマが射出される位置に被処理物を配置して被処理物を表面処理することを特徴とする表面処理方法。
IPC (7)：
B01J 19/08
, C08F 2/52 MDY
, C08F 36/06 MNX
, C08J 7/00 306
, C23C 4/12
, C23C 14/12
, C23C 16/12
