Pat
J-GLOBAL ID：200903040197430459

感光性樹脂組成物

Inventor：
金田 隆行

About 金田 隆行


Applicant, Patent owner：
旭化成株式会社

About 旭化成株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001055294
Publication number (International publication number)：2002258485
Application date： Feb. 28, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：
【要約】【課題】 現像時のパターン形成において基板との優れた接着性が得られ、耐熱性樹脂の良好な微細パターンを得る。【解決手段】 (A)アリールアミノ基もしくは、ピリジル基を分子構造に有するアルコキシシラン化合物、(B)フェノール性水酸基もしくはカルボキシル基を分子構造に有する耐熱性樹脂、またはそれらの前駆体、(C)光重合開始剤、及びキノンジアジド化合物からなる群から選択される光活性成分、及び(D)希釈溶剤を含有する感光性樹脂組成物を製造する。
Claim (excerpt)：
(A)アリールアミノ基もしくは、ピリジル基を分子構造に有するアルコキシシラン化合物、(B)フェノール性水酸基もしくはカルボキシル基を分子構造に有する耐熱性樹脂、またはそれらの前駆体、(C)光重合開始剤とキノンジアジド化合物からなる群から選択される光活性成分、及び(D)希釈溶剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (10)：
G03F 7/075 501 ,  C08K 5/28 ,  C08K 5/544 ,  C08K 5/548 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/027
FI (10)：
G03F 7/075 501 ,  C08K 5/28 ,  C08K 5/544 ,  C08K 5/548 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (38)：
2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC70 ,  2H025BE01 ,  2H025CA01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC03 ,  2H025CC06 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CL071 ,  4J002CM041 ,  4J002EE037 ,  4J002EE047 ,  4J002EE057 ,  4J002EH127 ,  4J002EQ037 ,  4J002ES017 ,  4J002EV307 ,  4J002EX076 ,  4J002EX086 ,  4J002FD030 ,  4J002FD147 ,  4J002FD150 ,  4J002FD206 ,  4J002GH00 ,  4J002GJ01 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01 ,  4J002HA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM