Pat

J-GLOBAL ID：200903040199863352

投影光学系および露光装置

Inventor： 松山 知行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 井上 義雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000148489
Publication number (International publication number)：2000353661
Application date： May. 19, 2000
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：

【要約】【課題】 半導体製造工程における装置間のディストーションマッチングエラーを減らすことのできる投影光学系およびディストーションの制御方法を提案する。【解決手段】 第1物体の像を第2物体上に投影するための投影光学系に、第1物体に続く第1光学要素としてディフォーマブルミラーを備える。

Claim (excerpt)：

第1物体の像を第2物体上に投影するための投影光学系において、最も前記第1物体側に配置されたディフォーマブルミラーを備えることを特徴とする投影光学系。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G02B 13/16 ,  G02B 13/18 ,  G02B 17/08 ,  G03F 7/20 521

FI (6)：

H01L 21/30 516 A ,  G02B 13/16 ,  G02B 13/18 ,  G02B 17/08 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D