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J-GLOBAL ID：200903040213290182
熱処理装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岸本 瑛之助 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994289537
Publication number (International publication number)：1996148503
Application date： Nov. 24, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】 スループットを向上させる。【構成】 密閉ケーシング1内に、カセット受け渡し手段12と、同一垂直軸線上に上下方向に所定間隔をおいて配置された複数のカセット載置用ターンテーブル16A 、16B を備えているカセットストッカ15と、カセット移載手段33と、1つの縦型熱処理炉41および昇降自在のボート42よりなる熱処理手段と、ウェハ移載手段46とが設けられている熱処理装置である。カセットストッカ15のすべてのターンテーブル16A 、16B を上下2つの群に分ける。上側の群に2以上のターンテーブル16A があり、下側の群に1つのターンテーブル16B がある。両群のターンテーブル16A 、16B をそれぞれ同時に駆動して回転させるようになっている。上側の群のターンテーブル16A と下側の群のターンテーブル16B とを別個に駆動して回転させるようになっている。
Claim (excerpt)：
密閉ケーシング内に、密閉ケーシングの壁に形成されたカセット出入口を通して搬入される薄板状被処理物保持カセットを受け取るとともに、熱処理済薄板状被処理物を保持したカセットを搬出のために待機させるカセット受け渡し手段と、同一垂直軸線上に上下方向に所定間隔をおいて配置された複数のカセット載置用ターンテーブルを備えているカセットストッカと、カセット受け渡し手段とカセットストッカとの間でカセットを移載するとともにカセットストッカのターンテーブル間でカセットを移載するカセット移載手段と、下端が開口するとともに上端が閉鎖された1つの縦型熱処理炉、および複数の薄板状被処理物を保持するようになされておりかつ縦型熱処理炉の下方に配置されて上昇時に熱処理炉内に挿入される昇降自在のボートよりなる熱処理手段と、カセットストッカと熱処理手段のボートとの間で薄板状被処理物を移載する被処理物移載手段とが設けられている熱処理装置において、カセットストッカのすべてのターンテーブルが上下2つの群に分けられ、上側の群に2以上のターンテーブルがあり、下側の群に1以上のターンテーブルがあり、両群のターンテーブルがそれぞれ同時に駆動されて回転するようになされるとともに、上側の群のターンテーブルと下側の群のターンテーブルとが別個に駆動されて回転するようになされている熱処理装置。
IPC (7)：
H01L 21/324
, C21D 1/00
, C23C 16/44
, F27D 7/06
, H01L 21/205
, H01L 21/22 511
, H01L 21/68
Cited by examiner (6)
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