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J-GLOBAL ID：200903040261349369

共焦点用光スキヤナ

Inventor： 田名網 健雄 ,  御厨 健太
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992015411
Publication number (International publication number)：1993060980
Application date： Jan. 30, 1992
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 結像特性を向上でき、また、ピンホール面からの迷光を低減できる共焦点用光スキャナを実現する。【構成】 複数の集光手段が形成された集光ディスク411と、複数のピンホ-ルが形成されたピンホ-ルディスク412と、前記集光ディスクとピンホ-ルディスクとを前記複数の集光手段の焦点位置に前記ピンホ-ルがそれぞれ配置されるように連結するドラム413から成るピンホ-ル基板41と、このピンホ-ル基板を一定速度で回転させる回転手段43と、前記ピンホ-ル基板の集光ディスクとピンホ-ルディスクとの間に設置された分岐光学系42とを備え、前記試料からの反射光は、前記ピンホ-ルディスクを通った後、前記分岐光学系により、前記集光ディスクを介して入射された前記照明光の光軸方向と直角方向にその光路を曲げられて出射するようにしたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ピンホ-ル基板を回転させ、このピンホ-ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナにおいて、複数の集光手段が形成された集光ディスクと、複数のピンホ-ルが形成されたピンホ-ルディスクと、前記集光ディスクとピンホ-ルディスクとを前記複数の集光手段の焦点位置に前記ピンホ-ルがそれぞれ配置されるように連結するドラムから成るピンホ-ル基板と、このピンホ-ル基板を一定速度で回転させる回転手段と、前記ピンホ-ル基板の集光ディスクとピンホ-ルディスクとの間に設置された分岐光学系とを備え、前記試料からの戻り光は、前記ピンホ-ルディスクを通った後、前記分岐光学系により、前記集光ディスクを介して入射された前記照射光の光軸方向と直角方向にその光路を曲げられて出射するようにしたことを特徴とする共焦点用光スキャナ。