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J-GLOBAL ID：200903040278317223

表面検査装置および表面検査方法

Inventor： 河島 将人
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001385476
Publication number (International publication number)：2003185591
Application date： Dec. 19, 2001
Publication date： Jul. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】 表面検査の際に、オートフォーカスによるピント合わせを行う場合であっても、そのオートフォーカスが検査対象の表面色の影響を受けるのを回避する。【解決手段】 検査対象となる半導体基板30の表面を撮像する撮像手段18と、その撮像に必要となる照明光を照射する第一照明手段11と、この第一照明手段11とは別の光を前照射する第二照明手段21と、この第二照明手段21が照射した光の反射光に基づいて前記撮像手段18のピント合わせを行うオートフォーカス手段23,24,25とを具備する表面検査装置において、前記第一照明手段11および前記第二照明手段21が前記半導体基板30の表面に対して照射する合成光の波長を可変にする波長可変手段19を設ける。

Claim (excerpt)：

検査対象となる半導体基板の表面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段での撮像に必要となる照明光を前記半導体基板の表面に対して照射する第一照明手段と、前記第一照明手段とは別の光を前記半導体基板の表面に対して照射する第二照明手段と、前記第二照明手段が照射した光の前記半導体基板の表面での反射光に基づいて前記撮像手段のピント合わせを行うオートフォーカス手段と、を具備する表面検査装置において、前記第一照明手段および前記第二照明手段が前記半導体基板の表面に対して照射する合成光の波長を可変にする波長可変手段が設けられたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/956 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/84 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G01N 21/956 A ,  G01N 21/00 B ,  G01N 21/01 D ,  G01N 21/84 E ,  H01L 21/66 J

F-Term (27)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BB15 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059LL01 ,  2G059NN10 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB15 ,  4M106DB16 ,  4M106DB20