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J-GLOBAL ID：200903040282074688

静電駆動型リレー

Inventor： 一矢 光雄 ,  笠野 文宏 ,  西村 広海
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 石田 長七 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993155757
Publication number (International publication number)：1995014490
Application date： Jun. 25, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】可動部の根元が応力集中で破損するのを防止した静電駆動型リレーを提供するにある。【構成】可動片2は可動電極4の周囲をRIE等のプラズマエッチングによってコ状に切り離して両側根元部30の形状をR形状としている。このR形状の根元部30により、根元部30に応力集中が起きず、外部からの衝撃や振動で根元部30が破損するのを防げる。

Claim (excerpt)：

固定電極を形成せる固定片と、固定電極に空隙を介して対向する可動電極を有し固定電極と可動電極との間に印加される外部電圧によって発生する静電力で固定電極側に一端部が移動するように他端部が支持固定された可動部を有する可動片とを接合し、可動部の移動により互いに接離する接点を可動部の一端部とこの一端部に対応する固定片の端部とに設けるとともに、これら接点を外部電気回路に接続する静電駆動型リレーにおいて、上記可動部の他端部の両側根元をR加工により外側方向に広がらせたことを特徴とする静電駆動型リレー。