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J-GLOBAL ID：200903040286849714
感光性耐熱性樹脂前駆体の熱処理方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997321465
Publication number (International publication number)：1998204291
Application date： Nov. 21, 1997
Publication date： Aug. 04, 1998
Summary：
【要約】【課題】機械特性の良好な耐熱性樹脂膜を得る方法を提供する。【解決手段】感光性耐熱性樹脂前駆体を露光、現像後、酸素濃度100ppm以下の雰囲気で熱処理することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体の熱処理方法。
Claim (excerpt)：
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を露光、現像後、酸素濃度100ppm以下の雰囲気下で熱処理することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体の熱処理方法
IPC (2)：
FI (2)：
C08L 79/08 A
, C08G 85/00
