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J-GLOBAL ID：200903040288559853

立体形状検出装置及びハンダ付検査装置並びにそれらの方法

Inventor： 奥田 浩人 ,  本田 敏文
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999246263
Publication number (International publication number)：2001074422
Application date： Aug. 31, 1999
Publication date： Mar. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】 同じ検査対象物に設けられた要求高さ検出精度や要求検出高さ範囲が異なる検出対象を迅速に検出可能な装置や方法を低価格で提供する。【解決手段】 Shape from Defocus方式において、光源1からの照明光の光路中に、検出対象物10での検出対象の要求検出条件に応じて異なるピッチの投影パターン3,4のいずれかを挿入する。この投影パターンは検出対象に投影され、その反射光がラインセンサ12に受光されて検出対象での投影パターンの画像が検出される。検出画像は、検出対象とラインセンサ12との位置関係に応じて焦点ずれの度合いが異なり、高さ検出器15は検出画像の焦点ずれに応じた合焦測度を求め、この合焦測度から検出対象の高さを求める。光路中に投影パターン部材3が挿入されたときと投影パターン4が挿入されたときとでの合焦測度の形状が異なり、これにより、高さ検出精度と高さ検出範囲の大きさが異なる。

Claim (excerpt)：

検査対象物の像を結像する結像レンズと、該結像レンズによって結像した該検査対象物の像を電気信号に変換する光電変換手段と、該検査対象物と該結像レンズとの間の光学的距離、または、該光電変換手段と該結像レンズとの間の光学的距離を複数の異なる値に設定する光学的距離設定手段と、該検査対象物と該結像レンズとの間の光学的距離、または、該光電変換手段と該結像レンズとの間の光学的距離の異なる値毎に得られる該光電変換手段の複数の出力に基づいて、合焦測度を算出する合焦測度算出手段と、該合焦測度算出手段で算出された合焦測度に基づいて該検査対象物の高さを算出する高さ算出手段とを備える立体形状検出装置において、該検査対象物の合焦位置からの変位の関数としての該合焦測度の分布範囲を複数の異なる値に設定する合焦測度制御手段と、該検査対象物に固有の要求検出精度及び要求検出高さ範囲を登録した第1のデータベースと、該要求高さ検出精度と該合焦測度の分布範囲の設定値との対応関係を表わすデータを登録した第2のデータベースと、該第1,第2のデータベースに登録されているデータを参照して、該検査対象物に対応する合焦測度の分布範囲の設定値を求め、さらに、該要求高さ検出範囲を該合焦測度の分布範囲の設定値で分割した際の分割位置を該検査対象物の設定位置として算出する、もしくは、該分割位置と該結像レンズに関して共役な位置を該光電変換手段が配置される位置として算出する検出条件算出手段とを設けたことを特徴とする立体形状検出装置。

F-Term (30)：

2F065AA04 ,  2F065AA54 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065DD00 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF10 ,  2F065GG04 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL10 ,  2F065LL15 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL41 ,  2F065LL46 ,  2F065LL62 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR08