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J-GLOBAL ID：200903040292629785
圧電アクチュエータの制御システム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
沢田 雅男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994331332
Publication number (International publication number)：1996101715
Application date： Sep. 30, 1994
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】 本発明の目的は、オーバーシュートすることなく、且つ精度よく圧電アクチュエータの変位量を所望の変位量に制御できる圧電アクチュエータの制御システムを提供することにある。【構成】 所望の変位量に対応する入力制御電圧と、位置センサ2からの出力を増幅した増幅器3の出力電圧との差が差動増幅器4により増幅される。上記差動増幅器4の出力電圧がパワーアンプ5により電流に変換されて圧電アクチュエータ1に流れる。上記圧電アクチュエータ1に電流が流れることにより、上記圧電アクチュエータ1に電荷が蓄積される。上記蓄積された電荷に応じて、上記圧電アクチュエータ1は変位する。上記入力制御電圧と、上記増幅器3の出力電圧との差がなくなるまで、上記圧電アクチュエータ1は変位する。
Claim (excerpt)：
圧電アクチュエータの変位量に対応した電圧値を出力する位置センサと、入力制御電圧と前記位置センサからの出力電圧との差を増幅する差動増幅器と、前記差動増幅器からの出力電圧により前記圧電アクチュエータの変位量を制御する制御回路とを有する圧電アクチュエータの制御システムにおいて、前記入力制御電圧として前記圧電アクチュエータの変位量を所望の値まで制御させたときの前記位置センサからの前記出力電圧の値と等しい電圧を供給し、前記制御回路が電圧-電流変換回路を有して、前記入力制御電圧と前記位置センサからの出力電圧との差に比例した前記電圧-電流変換回路からの電流により前記圧電アクチュエータの変位量を制御することを特徴とする圧電アクチュエータの制御システム。
IPC (4)：
G05D 3/00
, H01L 41/09
, H02N 2/00
, H03F 3/45
