ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992330219
Publication number (International publication number)：1994177098
Application date： Dec. 10, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【構成】紫外線硬化型粘着剤を、EVAとPPの2層からなる厚さ110μmのフィルムのコロナ処理したEVA面にロールコーターにて塗布し、90°Cで乾燥して塗布厚み30μmの紫外線硬化型粘着剤を有するウエハ裏面研削用テープを得る。【効果】本ウエハ裏面研削用テープによれば、大口径ウエハを薄く研削した場合でも、ウエハの破損を防ぎ、かつ、ウエハ表面を汚染しない。

Claim (excerpt)：

光透過性の一層または二層以上のフィルムからなり、少なくともその内の一層がショアーD型硬度が40以下であるエチレン-酢酸ビニル共重合体および/またはブタジエンゴムである基材フィルムに光硬化型粘着剤を塗布してなることを特徴とするウエハ裏面研削用テープ。

IPC (4)：

H01L 21/304 331 , H01L 21/304 321 , B24B 1/00 , C09J 7/02 JLE

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

特開平3-037286
特開平2-047833
特開平2-129919

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