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J-GLOBAL ID：200903040311807258

転写装置及び転写方法

Inventor： 内藤 勝之
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000289792
Publication number (International publication number)：2002100079
Application date： Sep. 25, 2000
Publication date： Apr. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ナノインプリンティングにおいて、原盤と基板に均一に圧力を印可することができ、かつ転写後に原盤と基板を容易に剥離することができる転写装置及び転写方法を提供すること。【解決手段】 情報に相当するパターンを有する原盤20を保持する原盤保持手段21と、原盤20の前記パターンが転写される基板23を保持する基板保持手段22と、原盤20と基板23間を固定する固定手段と、原盤20と前記基板23間に圧力を印加する圧力印加手段と、原盤保持手段21と基板保持手段22間に介在しかつ原盤20及び基板23の周囲に配置された弾性体26を有し、固定手段による原盤20と基板23間の固定を解除して引き離しを行う固定解除手段とを具備することを特徴とする転写装置。

Claim (excerpt)：

情報に相当するパターンを有する原盤を保持する原盤保持手段と、前記原盤の前記パターンが転写される基板を保持する基板保持手段と、前記原盤と前記基板間を固定する固定手段と、前記原盤と前記基板間に圧力を印加する圧力印加手段と、前記原盤保持手段と前記基板保持手段間に介在しかつ前記原盤及び前記基板の周囲に配置された弾性体を有し、前記固定手段による前記原盤と前記基板間の固定を解除して引き離しを行う固定解除手段とを具備することを特徴とする転写装置。

IPC (4)：

G11B 7/26 521 ,  B82B 3/00 ,  G11B 5/86 ,  G11B 5/86 101

FI (4)：

G11B 7/26 521 ,  B82B 3/00 ,  G11B 5/86 C ,  G11B 5/86 101 B

F-Term (3)：

5D121AA02 ,  5D121DD06 ,  5D121EE26