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J-GLOBAL ID：200903040325126512

赤外線検出器およびその製造方法、並びに赤外線固体撮像装置

Inventor： 太田 泰昭 ,  八木 宏文
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002101491
Publication number (International publication number)：2003294523
Application date： Apr. 03, 2002
Publication date： Oct. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】 検出感度の高い赤外線検出器を含む、非冷却の赤外線固体撮像装置を提供する。【解決手段】 検出部の温度変化を検知膜で検出する赤外線検出器において、基板と、基板上に支持脚で支持され、検知膜が設けられた検出部と、互いに略平行に配置された第1赤外線吸収膜および第2赤外線吸収膜と、第1赤外線吸収膜および第2赤外線吸収膜を透過した赤外線を反射して、第1赤外線吸収膜および第2赤外線吸収膜に入射させる反射膜とを含み、第1赤外線吸収膜と反射膜との間の第1光学距離と、第2赤外線吸収膜と反射膜との間の第2光学距離が互いに異なる。

Claim (excerpt)：

検出部の温度変化を検知膜で検出する赤外線検出器であって、基板と、該基板上に支持脚で支持され、検知膜が設けられた検出部と、互いに略平行に配置された第1赤外線吸収膜および第2赤外線吸収膜と、該第1赤外線吸収膜および該第2赤外線吸収膜を透過した赤外線を反射して、該第1赤外線吸収膜および該第2赤外線吸収膜に入射させる反射膜とを含み、該第1赤外線吸収膜と該反射膜との間の第1光学距離と、該第2赤外線吸収膜と該反射膜との間の第2光学距離とが、互いに異なることを特徴とする赤外線検出器。

IPC (6)：

G01J 1/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 35/00 ,  H01L 35/34 ,  G01J 5/02 ,  G01J 5/48

FI (7)：

G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 Q ,  H01L 35/00 S ,  H01L 35/34 ,  G01J 5/02 C ,  G01J 5/48 F ,  H01L 27/14 K

F-Term (26)：

2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA34 ,  2G065BB24 ,  2G065BB50 ,  2G065BC02 ,  2G065BC07 ,  2G065BE08 ,  2G065DA20 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55 ,  2G066BA60 ,  2G066CA02 ,  4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA30 ,  4M118CA03 ,  4M118CA14 ,  4M118CA20 ,  4M118CA40 ,  4M118CB13 ,  4M118CB14 ,  4M118EA04 ,  4M118EA20 ,  4M118GA10