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J-GLOBAL ID：200903040335681808

液晶表示装置用アレイ基板

Inventor： 堂城 政幸 ,  茨木 伸樹
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 大胡 典夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992134059
Publication number (International publication number)：1993323378
Application date： May. 27, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【構成】アクティブマトリクス液晶表示装置用アレイ基板に関し、補助容量配線14の構造を、ITO膜でなる透明導電膜22と、アルミニウム膜24を高融点金属またはその合金例えばモリブデン・タンタル膜23,25で包んでなる膜との積層で、かつ透明導電膜22が下層となるようにする。【効果】補助容量配線14の抵抗は低抵抗となり、また補助容量配線14の一部に透明導電膜膜22を用いることにより、画素開口率を大きくすることができ、液晶表示装置の大画面化、高精細化を図ることが可能となる。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に形成されるアドレス配線・電極とそれに交差して配置されるデータ配線・電極、アドレス配線と独立して設けられた補助容量配線、透明画素電極及び薄膜トランジスタから構成される液晶表示装置用アレイ基板において、前記補助容量配線が透明導電膜からなる第1層と高融点金属またはその合金で包まれたアルミニウムからなる第2層とからなり、前記第1層が下層に配置されていることを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板。

IPC (7)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/133 505 ,  G02F 1/133 550 ,  G02F 1/1333 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/784

FI (2)：

H01L 21/88 R ,  H01L 29/78 311 A