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J-GLOBAL ID：200903040341021445

欠陥検出装置

Inventor： 板 谷 雅 雄 ,  田 中 徳 彦
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000014350
Publication number (International publication number)：2001208729
Application date： Jan. 24, 2000
Publication date： Aug. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】 被検査物の表面における欠陥を高精度で検出すること。【解決手段】 被検査物1に対して表面弾性波4が超音波振動子3から入射される。レーザ送受光器5から被検査物1の表面にレーザ光6が照射され、レーザ送受光器5により反射光7が受光される。レーザ送受光器5には、信号処理装置8が接続され、信号処理装置8によりレーザ光6と反射光7との周波数の差が検出され、この周波数の差により被検査物1表面の振動速度が測定され、欠陥2が検出される。

Claim (excerpt)：

被検査物に対して欠陥検出を行なう欠陥検出装置において、被検査物に対して表面弾性波を入射する表面弾性波発生源と、被検査物の表面にレーザ光を照射するレーザ送光手段と、被検査物の表面で反射したレーザ光の反射光を受光するレーザ受光手段と、レーザ送光手段とレーザ受光手段に接続され、被検査物に入射するレーザ光と被検査物からの反射光との周波数の差を検出して信号処理することにより被検査物表面の振動速度を測定して欠陥を検出する検出手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検出装置。

IPC (2)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 11/30

FI (2)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 11/30 A

F-Term (20)：

2F065AA00 ,  2F065AA49 ,  2F065FF00 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG13 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL16 ,  2F065LL18 ,  2F065PP22 ,  2G047BC05 ,  2G047BC07 ,  2G047CA04 ,  2G047CB03 ,  2G047GD00 ,  2G047GG27