Pat

J-GLOBAL ID：200903040356345948

不良装置検出方法、不良装置検出装置、プログラム及び製品の製造方法

Inventor： 後藤 和久
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001292864
Publication number (International publication number)：2002323924
Application date： Sep. 26, 2001
Publication date： Nov. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】 同等の機能を有する複数の製造装置を用いて製品を量産する際に歩留まり低下に影響の大きい不良装置を精度良く検出すること。【解決手段】 同等の機能を有する複数の装置のうちいずれの装置によりその工程における処理がなされたかを示す処理履歴データ、その処理の出来栄えを示す出来栄えデータ、その処理がされた日時を示す出来栄えテスト日時データを入力する入力手段と、前記出来栄えデータの平均の時間的変化を回帰式で算出する傾向算出手段と、前記回帰式が平らになるように各日時の出来栄えデータを補正する補正手段と、データマイニング手法により出来栄えに影響の大きい前記工程及び前記装置を特定するデータマイニング手段とを備えることを特徴とする不良装置検出装置。

Claim (excerpt)：

【請求項1】 同等の機能を有する複数の装置のうちいずれの装置により処理がされたかを示す処理履歴データ、その処理の出来栄えを数値で示す出来栄えデータ、その処理がされた時期を示す出来栄えテスト日時データを各被処理物について入力する工程と、時間の関数として前記出来栄えデータの回帰式を算出する工程と、前記回帰式に基いて前記出来栄えに影響の大きい装置を特定する工程とを備えることを特徴とする不良装置検出方法。

IPC (5)：

G05B 23/02 301 ,  G05B 23/02 302 ,  G05B 19/418 ,  G06F 17/60 108 ,  G06F 19/00 130

FI (5)：

G05B 23/02 301 V ,  G05B 23/02 302 T ,  G05B 19/418 Z ,  G06F 17/60 108 ,  G06F 19/00 130

F-Term (8)：

3C100AA58 ,  3C100BB27 ,  3C100EE06 ,  5H223AA01 ,  5H223DD03 ,  5H223DD09 ,  5H223EE30 ,  5H223FF06