Pat
J-GLOBAL ID：200903040370414456

欠陥検査方法

Inventor：
本田 敏文

About 本田 敏文

, 
奥田 浩人

About 奥田 浩人


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002234301
Publication number (International publication number)：2004077164
Application date： Aug. 12, 2002
Publication date： Mar. 11, 2004
Summary：
【課題】製品のばらつきによる擬似欠陥が大量に発生し、再分類が困難になる。【解決手段】複数の本来同一の外観を持つ箇所で得られた欠陥候補および比較用に検出した外観が大きくことなる箇所を多数検出し、得られた領域を重ね合わせてそれぞれを互いの距離や特徴量、ばらつきをもとに検出された領域をグループ化し、グループ化した領域のばらつきをもとに欠陥を真の欠陥と擬似欠陥に分類し、真の欠陥と判定された領域より得られた特徴量と明度差特徴量とゴールデンパターン特徴量とばらつきをもとに細分類をおこなう。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
試料の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、 観察対象の外観画像を撮像する工程と、 前記観察対象の外観画像が期待した外観と大きく異なる領域を検出する工程と 前記検出した領域の特徴量を算出する工程と、 前記検出した領域が本来もつ外観が類似したもの同士あるいは同一なもの同士あるいは同一なものに近接しているものを同一のグループとして分類する工程と、前記グループ毎に前記検出した領域の特徴量を集計する工程と、 前記グループに属する前記検出した領域の特徴量と前記集計した特徴量の分布とを比較して前記検出した領域の属性を決定する工程と を有することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (4)：
G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66
FI (5)：
G01N21/956 A ,  G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300E ,  G06T7/00 300F ,  H01L21/66 J
F-Term (39)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA24 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051ED21 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC19 ,  5B057DC32 ,  5B057DC36 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096FA33 ,  5L096FA37 ,  5L096GA08 ,  5L096HA07 ,  5L096JA11 ,  5L096JA18 ,  5L096MA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM