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J-GLOBAL ID:200903040380008987

光走査型変位センサーの受光素子調整機構

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 長七 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993155795
Publication number (International publication number):1995012555
Application date: Jun. 25, 1993
Publication date: Jan. 17, 1995
Summary:
【要約】【目的】 位置検出素子の傾きの調整を精度良く簡単にできること。【構成】 偏心鋲23を回転させることで、PSDホルダー16が回転ホルダー17の凹部18内で左右にスライドし、これにより位置検出素子6のZ方向の位置調整を行うことができる。また、走査と平行になるように位置検出素子6の角度(傾き)調整は、偏心鋲24を回転させることにより、回転ホルダー17を回転させ、これにより位置検出素子6の角度調整を行う。調整は標準検出物体(平板)で行い、出力(1走査)を見ながら(例えば、オシロスコープ)、1走査間に変化しないように行い、走査と位置検出素子6が平行になるように調整を行う。
Claim (excerpt):
投光ビームを偏向手段により走査させ、ある角度をもって受光レンズと一次元の位置検出素子により光点を検出する光走査型変位センサーにおいて、位置検出素子を保持するホルダーを円筒形に形成し、このホルダーを円形の収納部に回転自在に配設したことを特徴とする光走査型変位センサーの受光素子調整機構。
IPC (2):
G01C 3/06 ,  G01B 11/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平1-297504
  • 特開平2-059607

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