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J-GLOBAL ID：200903040478057463

狭帯域放電励起レーザ装置

Inventor： 高橋 秀実 ,  山中 圭一郎 ,  橋立 雄二 ,  市橋 宏基 ,  高野 哲太郎 ,  古谷 伸昭
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998312904
Publication number (International publication number)：2000138410
Application date： Nov. 04, 1998
Publication date： May. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 波長スペクトルを狭帯域化した放電励起レーザ装置において、ビームを拡大するプリズムと偏光分離鏡とを有し、偏光分離鏡により一方の偏光成分を出力光とする構成において、偏光分離鏡の偏光分離膜がもっとも劣化を生じやすく、頻繁な交換を要するという問題があった。【解決手段】 この課題を解決するために本発明は、この課題を解決するために本発明は、プリズムによりビームが拡大された位置に偏光分離鏡を置くように構成したものである。これにより、偏光分離鏡における光強度負荷を低減し、長寿命化が可能となる。

Claim (excerpt)：

波長スペクトルを狭帯域化した放電励起レーザ装置において、ビームを拡大するプリズムと偏光分離鏡とを有し、前記偏光分離鏡により一方の偏光成分を出力光とする構成で、レーザビームがプリズムにより拡大されて前記偏光分離鏡に入射する構成となるレーザ装置。

IPC (2)：

H01S 3/137 ,  H01S 3/1055

FI (2)：

H01S 3/137 ,  H01S 3/1055

F-Term (10)：

5F072AA06 ,  5F072JJ03 ,  5F072JJ08 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK07 ,  5F072KK08 ,  5F072KK15 ,  5F072KK18 ,  5F072KK30 ,  5F072YY09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-209888
  
• 特開平4-196374
  
• 特開平4-072782