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J-GLOBAL ID：200903040485868647
三次元形状計測装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991225905
Publication number (International publication number)：1993067198
Application date： Sep. 05, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】 高速に三次元形状を計測する三次元形状計測装置に関するもので、配列型位置検出素子を使用した場合に発生する、配列型位置検出素子を構成する受光素子の幅で測定分解能の制限を受ける課題を解決し、高分解能を有する優れた特性を持つ三次元形状計測装置の提供を目的とする。【構成】 第1の配列型位置検出素子105と、半透過型反射鏡108と、第2の配列型位置検出素子111と、第1の三次元形状演算手段106と、第2の三次元形状演算手段112とを設け、第1の配列型位置検出素子105の出力信号より第1の三次元形状演算手段106においてX軸方向に高分解能の高さ情報を取得し、第2の配列型位置検出素子111の出力信号より第2の三次元形状演算手段112においてY軸方向に高分解能の高さ情報を取得し、上記二つの高さ情報を補間することにより、高分解能の高さ情報が得られる。
Claim (excerpt)：
撮像面に配列型位置検出素子を有する第1の撮像装置と、前記第1の撮像装置の配列型位置検出素子の長手方向に直交し被測定物を走査する第1のスリット光走査機構と、第1の撮像装置と被測定物の間の配置された半透過型反射鏡と、前記半透過型反射鏡を介して被測定物を撮像する撮像面に配列型位置検出素子を有する第2の撮像装置と、前記第2の撮像装置の配列型位置検出素子の長手方向に直交し被測定物を走査する第2のスリット光走査機構と、第1の撮像装置の位置検出素子の出力信号より三次元形状情報を計算する第1の三次元形状演算手段と、第2の撮像装置の位置検出素子の出力信号より三次元形状情報を計算する第2の三次元形状演算手段と、第1の三次元形状情報と第2の三次元形状情報よりお互いに補間して測定精度を向上させる測定精度向上手段と、第1のスリット光走査機構と第2のスリット光走査機構と第1の三次元形状演算手段と第2の三次元形状演算手段と測定精度向上手段の動作を同期させる全体制御手段を具備することを特徴とする三次元形状計測装置。
IPC (3)：
G06F 15/62 415
, G01B 11/24
, G01C 3/06
