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J-GLOBAL ID：200903040490740632

非晶質硬質炭素膜及びその製造方法

Inventor： 諸貫 正樹
Applicant, Patent owner： 株式会社リケン
Agent (1)： 村井 卓雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001157465
Publication number (International publication number)：2002348668
Application date： May. 25, 2001
Publication date： Dec. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】 摺動部材表面に形成される非晶質硬質炭素膜の初期馴染み性を改善する。【解決手段】 非晶質硬質炭素膜が炭化珪素及び酸化珪素を含有し、酸化珪素含有量が膜表面に向かって連続的もしくは段階的に増加する。

Claim (excerpt)：

炭素と水素を主成分とする非晶質硬質炭素膜において、該膜中に炭化珪素及び酸化珪素を含有し、該酸化珪素含有量が膜内部より膜表面に向かって変化しており、最大酸化珪素含有量位置が膜表面にあり、かつ最小酸化珪素含有量(ゼロ%を含む)が膜内部にあることを特徴とする非晶質硬質炭素膜。

IPC (2)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101

FI (2)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 Z

F-Term (17)：

4G046CA02 ,  4G046CB03 ,  4G046CC06 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA14 ,  4K030BA27 ,  4K030BA37 ,  4K030BA44 ,  4K030BB05 ,  4K030FA03 ,  4K030FA14 ,  4K030HA04 ,  4K030JA06 ,  4K030LA01 ,  4K030LA21 ,  4K030LA23