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J-GLOBAL ID：200903040509733411

圧電アクチュエータ

Inventor： 木幡 八州太郎 ,  藤沢 悦子 ,  秋山 善一 ,  山中 邦裕
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 高野 明近 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998008232
Publication number (International publication number)：1999204849
Application date： Jan. 20, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 Si基板上での鉛系圧電セラミック材料の焼結時の基板上への鉛拡散を防止でき、しかも機械的強度及び信頼性の高い中間層を持ったアクチュエータを実現する。【解決手段】 Si基体上に、上下電極および該電極間に挟まれた電気-機械変換効果を示す圧電材料層からなる電気-機械変換素子部を配し、与えられる電気信号に応じて基体の一部を変形する圧電アクチュエータにおいて、前記基体と前記電気-機械変換素子部の間に1層以上を中間層を形成し、該中間層を、基体との密着機能層,反応防止機能層,膜応力緩和機能層を有する単層または複数層から構成した。

Claim (excerpt)：

基体上に、上下電極および該電極間に挟まれた電気-機械変換効果を示す圧電材料層からなり、与えられる電気信号に応じて基体の一部を変形する電気-機械変換素子部を配し、基体と電気-機械変換素子部の間に1層以上の中間層が形成されている圧電アクチュエータにおいて、該中間層が基体との密着機能層,反応防止機能層,膜応力緩和機能層を有する単層または複数層から構成されることを特徴とした圧電アクチュエータ。

IPC (6)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  C04B 35/48 ,  H01L 41/22

FI (5)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  C04B 35/48 D ,  H01L 41/22 Z