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J-GLOBAL ID：200903040512495068

走査型顕微鏡

Inventor： 平山 広
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996164236
Publication number (International publication number)：1997274142
Application date： Jun. 25, 1996
Publication date： Oct. 21, 1997
Summary：

【要約】【課題】 観察したい試料領域に対する最適な焦点位置を迅速、且つ的確に自動的に決定する。【解決手段】 本発明は、試料に走査されるスポット光による画像情報から試料画像を取り込み、この取り込まれた試料画像において、試料の焦点を検出するための焦点検出ラインを設定し(1,2)、この焦点検出ラインに対応する試料画像を、焦点検出ラインが設定された位置からスポット光の光軸方向所定範囲内において所定間隔毎に取り込み(2〜6)、取り込まれた所定範囲内の焦点検出ライン画像の輝度値のピークを算出する(2)。そして、ピークに対応する収束光学手段(15)と試料Bとの相対距離を算出し(2)、収束光学手段(15)と試料Bとの相対距離を相対距離算出手段(2)にて算出された相対距離になるよう補正する相対距離補正手段(2,4,5,11)とを具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ステージ上に載置された試料上に収束光学手段により収束されたスポット光を走査することにより試料を観察する走査型顕微鏡において、前記試料に走査されるスポット光による画像情報から試料画像を取り込み、表示する試料画像表示手段と、前記試料画像表示手段により表示された試料画像において、前記試料の焦点を検出するための焦点検出ラインを設定する焦点検出ライン設定手段と、前記焦点検出ライン設定手段にて設定された焦点検出ラインに対応する試料画像を、前記焦点検出ライン設定手段により焦点検出ラインが設定された位置から前記スポット光の光軸方向所定範囲内において所定間隔毎に取り込む画像取り込み手段と、前記画像取り込み手段により取り込まれた所定範囲内の焦点検出ライン画像の輝度値のピークを算出するピーク算出手段と、前記ピーク算出手段にて算出されたピークの焦点位置に対応する前記収束光学手段と前記試料との相対距離を算出する相対距離算出手段と、前記収束光学手段と前記試料との相対距離を前記相対距離算出手段にて算出された相対距離になるよう補正する相対距離補正手段とを具備したことを特徴とする走査型顕微鏡。

IPC (5)：

G02B 21/26 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G03B 13/36

FI (5)：

G02B 21/26 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 7/11 J ,  G03B 3/00 A