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J-GLOBAL ID：200903040522429209

プラズマクリーニング機構を備えた電子線装置

Inventor： 森山 健
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995089715
Publication number (International publication number)：1996288247
Application date： Apr. 14, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 真空容器内の定期的なクリーニングによる装置のリフレッシュ(再生)を短時間で行うことができ、その結果、装置の使用効率を一段と向上させることができる電子線装置を提供すること。【構成】 減圧された真空容器6内において、電子線を用いて対象物の観察または処理を行う電子線装置において、前記減圧された真空容器6内に存在する不要物を除去するための、プラズマクリーニング機構を設けたことを特徴とする電子線装置。

Claim (excerpt)：

減圧された真空容器内において、電子線を用いて対象物の観察または処理を行う電子線装置において、前記減圧された真空容器内に存在する不要物を除去するための、プラズマクリーニング機構を設けたことを特徴とする電子線装置。

IPC (2)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/10

FI (2)：

H01L 21/304 341 D ,  B08B 3/10 Z