酸化物薄膜およびその形成法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：坂本栄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992291749
Publication number (International publication number)：1994136545
Application date： Oct. 29, 1992
Publication date： May. 17, 1994
Summary：

【要約】【構成】ガラス基板の表面上に形成した薄膜が、金属アルコキシド系化合物或いは金属アセチルアセトネート系化合物の中から少なくとも1種以上の化合物を用い、溶剤と共に加水分解並びに縮重合反応をさせ、固形分濃度が酸化物換算で0.01〜0.2 wt%であるコーティング溶液とし、更に増粘剤を無添加または添加でもって該コーティング溶液の粘度が2〜10cP となるよう調製した後、該調製コーティング溶液を被膜し、加熱成膜して成るゾルゲル膜であることを特徴とする酸化物薄膜。並びに被膜手段が脱気付カーテンフローコーティング法であり、成膜したゾルゲル膜が1000nm以下の膜厚である酸化物薄膜。及びその形成法。【効果】手軽に容易な膜形成手段でもって薄膜を安価に格段に効率よく得られ、該薄膜は光学特性を損なうことなく、密着性、耐候性等に優れるものとなる等、建築用もしくは自動車用窓材をはじめ、各種ガラス物品等、種々の被覆膜に広く採用できる利用価値の高いものとなる。

Claim (excerpt)：

ガラス基板の表面上に形成した薄膜が、金属アルコキシド系化合物あるいは金属アセチルアセトネート系化合物のなかから少なくとも1種以上の化合物を用いて、溶剤とともに加水分解ならびに縮重合反応をせしめ、固形分濃度が酸化物換算で0.01〜0.2 wt%であるコーティング溶液とし、さらに増粘剤を無添加または添加でもって該コーティング溶液の粘度が2〜10cP となるよう調製した後、該調製コーティング溶液を被膜し、加熱成膜して成るゾルゲル膜であることを特徴とする酸化物薄膜。

IPC (4)：

C23C 18/12 , B60J 1/00 , C03C 17/25 , C03C 17/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開昭53-017648
特開昭53-129237
特開昭61-148053

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