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J-GLOBAL ID：200903040531588719
洗浄方法及び洗浄装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
尾川 秀昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992031430
Publication number (International publication number)：1993198547
Application date： Jan. 21, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】 発煙硝酸又は硝酸を洗浄液として用いる半導体ウェハ等に対する洗浄における洗浄能力を高め、洗浄時間の短縮を図る。【構成】 洗浄液に光、特に紫外線を照射して活性化する。
Claim (excerpt)：
発煙硝酸又は硝酸により洗浄する洗浄方法において、上記発煙硝酸又は硝酸にそれを活性化する光を照射することを特徴とする洗浄方法
Patent cited by the Patent：
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